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智能片盒运输/搬运
APR500片盒搬运机器人，可自动搬运两个12寸FOUP（兼容8寸片盒），实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人，可兼容多种半导体工厂物料，在工厂不同区域进行运输。机器人配置了多重安全保障功能，尤其适用于人机协作环境；多项创新技术有效提升机器人使用效率；可根据客制化需求，为用户提供工厂搬运整体解决方案。
全国服务热线： 18168876888
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智能片盒运输/搬运
APR500片盒搬运机器人，可自动搬运两个12寸FOUP（兼容8寸片盒），实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人，可兼容多种半导体工厂物料，在工厂不同区域进行运输。机器人配置了多重安全保障功能，尤其适用于人机协作环境；多项创新技术有效提升机器人使用效率；可根据客制化需求，为用户提供工厂搬运整体解决方案。
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产品详情

ATR500
APR500
APR500片盒搬运机器人，可自动搬运两个12寸FOUP（兼容8寸片盒），实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人，可兼容多种半导体工厂物料，在工厂不同区域进行运输。机器人配置了多重安全保障功能，尤其适用于人机协作环境；多项创新技术有效提升机器人使用效率；可根据客制化需求，为用户提供工厂搬运整体解决方案。
    产品特征

● 灵活性高

● 适用于高净化等级厂房

● 运载量大

● 操作简便

● 物料可追溯

● 安全性高

    主要技术参数

型号

ATR500 

APR500 

运载容量

12个8寸满载片盒或4个12寸满载FOUP

2个12寸满载FOUP

引导方式

激光智能引导

激光智能引导

移动速度

 最高1.3 m/s（可配置）

 最高1.3 m/s（可配置）